Síntese e caracterização de filmes de TiN depositados em aço ferramenta AISI H13
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ژورنال
عنوان ژورنال: Revista Brasileira de Aplicações de Vácuo
سال: 2017
ISSN: 1983-4047,0101-7659
DOI: 10.17563/rbav.v35i3.1040